Dielectric Materials for Advanced VLSI and ULSI Technologies

Вы здесь

Автор:

Количество экземпляров:

Вид:

Статья из сборника или журнала

Год:

1994

Ключевые слова:

Стр.:

P.94-111.

Библиография:

Bibliogr.: p.110.

Источник:

Номер:

Том:

Карточка:

А3.44, В3.14.

Obeng Y. S., Steiner K. G., Velaga A. N., Pai C. -S..

Dielectric Materials for Advanced VLSI and ULSI Technologies// AT&T Technical J.-1994, №3.-Vol. 73.-P.94-111.
Bibliogr.: p.110.

Таблица в старой библиотеке:

PAP9 865